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    西安克雷特克科貿有限公司溫度傳感器,熱流傳感器,傳感器生產銷售廠家

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    讓我們來了解熱流傳感器的發展進程

    發布于 2020年03月19日

    [摘要]自德國的Henky教授在1914年制造出第一個熱流傳感器以來,經歷了三個發展階段,具體如下: 第1階段:線繞式熱流傳感器; 第2階段:半導體式熱流傳感器; 第3階段:超薄(薄膜式)熱流傳感器
    自德國的Henky教授在1914年制造出第一個熱流傳感器以來:

      第1階段:線繞式熱流傳感器

      上世紀20年代開始,在康銅絲或其它材料的熱電偶絲上利用電鍍工藝制造熱電堆。

      典型結構:用金屬絲(如康銅)先在眾多的絕緣板條上繞線圈,然后將此金屬絲線圈(如康銅)的一半鍍上另一種金屬(如銅),在絕緣板條的兩面形成眾多串聯的熱電偶一一即串聯的熱電偶線圈——銅與康銅的交接點形成熱電偶的冷、熱節點(熱電堆)。多個熱電堆再焊接串聯或并聯后,平鋪粘結在兩平面絕緣保護硅膠板間形成熱流傳感器。

      第2階段:半導體式熱流傳感器

      上世紀60年代末開始,利用半導體工藝制造熱電堆。

      典型結構:在硅片上用半導體工藝制造熱電堆,一般使用環氧樹脂封裝保護。

      第3階段:超薄(薄膜式)熱流傳感器

      上世紀90年代中開始,利用大規模集成電路制造工藝:濺射或激光熔刻技術制造熱電堆。

      典型結構:使用濺射和激光熔刻技術制造熱電堆,一般使用聚酰亞胺薄膜封裝保護。
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